Huttinger TIS0,5/13560

Артикул: TIS0,5/13560
Изготовитель: HUTTINGER
✅ Под заказ
ЗАКАЗАТЬ ЗАКАЗАТЬ

Технические характеристики TIS0,5/13560

Раздел
Ремонт
Подраздел
Huttinger
Вес
  • Тип нагрузки: Емкостная или индуктивная плазма (требуется блок согласования).
  • Интерфейс управления: Стандартный аналоговый (User Interface) или RS232/Profibus (в зависимости от модификации).
  • Выходной разъем: Обычно типа N или 7/16 DIN для минимизации потерь на ВЧ.
  • Питание: Однофазная сеть 200-240 В, 50/60 Гц.
  • Ограничения: Требуется соблюдение температурного режима в стойке (не выше +40°C) и отсутствие агрессивных паров в охлаждающем воздухе.
В связи с текущей ситуацией и введенными санкциями, мы предоставляем всю информацию о стоимости наших товаров только по запросу.
Пожалуйста, свяжитесь с нами, и мы подготовим индивидуальное коммерческое предложение, учитывающее все ваши потребности и спецификации заказа.
Не нашли продукцию?

Если вы не нашли продукцию бренда HUTTINGER на нашем сайте, пожалуйста, свяжитесь с нами. Мы приложим все усилия, чтобы найти и предложить вам необходимый товар в кратчайшие сроки.

Заказать товар Заказать товар
Особенности
Выходная мощность: 500 Вт при промышленной частоте 13,56 МГц
Высокая стабильность поддержания параметров плазменного разряда
Компактное исполнение для интеграции в стойки 19 дюймов
Встроенная защита от высокого коэффициента стоячей волны (КСВ/VSWR)
Возможность прецизионного управления через аналоговый или цифровой интерфейс
Применение
Системы плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD).
Установки магнетронного и ионно-лучевого распыления (Sputtering).
Процессы реактивного ионного травления (RIE) в микроэлектронике.
Оборудование для плазменной очистки и активации поверхностей перед склеиванием или печатью.
Лабораторные ВЧ-установки для анализа материалов.
Преимущества
Прецизионная схемотехника: Минимальный дрейф частоты и мощности даже при длительных циклах эксплуатации 24/7.
Эффективное охлаждение: Оптимизированная система теплоотвода продлевает срок службы силовых MOSFET-компонентов.
Совместимость с согласующими устройствами (Matchbox): Быстрая синхронизация с автоматическими тюнерами для минимизации отраженной мощности.
Ремонтопригодность: Модульная внутренняя компоновка позволяет проводить точечный ремонт ВЧ-каскадов, что значительно дешевле покупки нового узла.
FAQ

Как проверить корректность работы генератора при высоком КСВ?

Генератор оснащен системой защиты, которая автоматически снижает выходную мощность при превышении порога отраженной энергии. Для диагностики необходимо проверить состояние кабелей связи и настройки автоматического согласующего устройства (Matchbox).


Каков регламент технического обслуживания модели TIS 0,5/13560?

Рекомендуется проводить чистку воздушных фильтров и продувку внутренних радиаторов каждые 6 месяцев. Раз в 2 года необходима проверка состояния электролитических конденсаторов в блоке питания и калибровка выходной мощности на эквиваленте нагрузки.


Целесообразен ли ремонт данного генератора при выходе из строя силового каскада?

Да, ремонт TIS 0,5/13560 экономически выгоден, так как стоимость замены ВЧ-транзисторов и настройки смещения составляет не более 20-30% от цены нового устройства, при этом ресурс восстановленного прибора остается на высоком уровне.


Huttinger TIS0,5/13560
Huttinger TIS 0,5/13560 — это специализированный высокочастотный (ВЧ) генератор, предназначенный для обеспечения энергией процессов в плазменных установках. Как инженеры, мы отмечаем исключительную надежность транзисторной архитектуры TIS (Transistorized Industrial Source). Маркировка расшифровывается как: мощность 0,5 кВт на частоте 13560 кГц (стандарт 13,56 МГц). Данная модель идеальна для задач, требующих стабильного горения плазмы при относительно небольших мощностях, где ламповые аналоги проигрывают в габаритах и КПД. В отличие от бюджетных решений, Huttinger обеспечивает минимальный уровень гармонических искажений и мгновенную реакцию на изменение импеданса нагрузки, что критично для качества напыления или травления.
HUTTINGER
HUTTINGER специализируется на производстве оборудования и компонентов. В ассортименте: генераторы радиочастотных сигналов, платы процессоров/контроллеров, фотоэлектрические датчики и радиочастотные передатчики. Решения для автоматизации и контроля промышленных процессов.

Подробнее
Не нашли продукцию?

Если вы не нашли продукцию бренда HUTTINGER на нашем сайте, пожалуйста, свяжитесь с нами. Мы приложим все усилия, чтобы найти и предложить вам необходимый товар в кратчайшие сроки.

Заказать товар Заказать товар
Рекомендованные товары